Skupina mikrosenzorů se zabývá zejména voltametrickými a amperometrickými senzory a biosenzory pro detekci látek v roztoku, konduktometrickými senzory, senzory plynů, záření, dehydratace, tlaku atp.
Voltametrické a amperometrické mikrosenzory jsou konstruovány jako planární tříelektrodové snímače pro detekci těžkých kovů, tiolů, DNA, glukózy, atp. U senzorů je studován vliv jednotlivých elektrod na výstupní odezvu z hlediska tvaru, použitého materiálu a topografie celého planárního systému. Důraz je kladen především na materiálové složení elektrod tak, aby byly dostatečné citlivé a selektivní na vybrané látky. Toho dosahujeme vhodnou volbou materiálu aktivní (pracovní) elektrody. Aktivní elektrodu senzoru obvykle realizujeme nanokompozity nebo přímým nanostrukturováním povrchu a následnou funkcionalizací pro získání specifické afinity na vybrané látky.
Senzory plynů pro etanol, aceton, metanol, metan, isobutan, atp. jsou konstruovány jako planární i jako micro-hot plates s použitím polovodivých aktivních vrstev. K jejich výrobě jsou používány standardní mikroelektronické technologie (litografie, tenké vrstvy, tlusté vrstvy) s následnou modifikací pomocí nanomateriálů. Pro realizaci aktivních vrstev jsou podobně jako u voltametrických senzorů používány nanostrukturované povrchy.
