Mikroluididní čip s mikrokanálky je vhodný pro optické a spektrální pozorování kapalin, buněk a jejich případných reakcí. Čip má 1 výstup a 3 vstupy, což umožnuje připojení různých druhů kapalin zároveň (viz obrázek č.1). Čip je vyroben pomocí procesů kompatibilních se standardní CMOS technologií (návrh je zobrazen na obrázku č. 1). Pokrytí parylenem-C zaručuje biokompatibilní prostředí. Výrobní proces je znázorněn na obrázku č. 2. Řez kanálu před a po uzavření parylenem-C je zachycen pomocí SEM na obrázku č. 3.
Obr. 1: Layout mikrofluidního čipu s mikrokanálky. Vstupy jsou označeny čísly 1-3, výstup číslem 4. Jsou zde také dvě sesazovací značky pro řezání laserem (černé šipky) a dvě sesazovací značky pro pozorování pod mikroskopem (modré šipky).
Obr. 2: Schématické znázornění výrobního procesu.
Obr. 3: SEM analýza utopeného kanálu před a po uzavření parylenem-C.
