Logo LabSensNano
Skip Navigation Links
Intor LabSensNano

100 pixelový MEMS s bolometry

Publikováno : 2017
Autoři: prof. Ing. Pavel Neužil, Dr., DSc. , doc. Ing. Jan Pekárek, Ph.D. , Ing. Vojtěch Svatoš , Ing. Imrich Gablech, Ph.D.

Klíčová slova:
Bolometr, řádek, 100 pixelů, IR záření

Popis:

Design řádkového detektoru pro snímání IR záření byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Ukázka designu je zobrazena na obrázku níže. Bylo vytvořeno 100 měřicích bolometrů (pixelů) a 10 referenčních. Membrány bolometru (jednotlivé pixely) slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena (viz snímky z optického mikroskopu).

Parametry:

Počet pixelů: 100 měřicích a 10 referenčních
Počet padů: 21
Velikost membrány: 40x40 µm
Odpor bolometru: 8 - 10 kOhm

náklady na výrobu cca 300 000 Kč

Projekty:

VI20152019043 , LO1401 (INWITE)

 

Zpět...





Logo VUT