Logo LabSensNano
Skip Navigation Links
Intor LabSensNano

Membrány bolometru 2. generace

Publikováno : 2016
Autoři: Ing. Vojtěch Svatoš , prof. Ing. Pavel Neužil, Dr., DSc. , doc. Ing. Jan Pekárek, Ph.D. , Ing. Imrich Gablech, Ph.D.

Popis:

Design membrán bolometrů druhé generace byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Ukázka designu je zobrazena na obrázku níže vlevo. Bylo vytvořeno několik velikostí čtvercových membrán, a to s rozměry strany membrány 17.5 µm, 25 µm, 30 µm a 40 µm. Membrány bolometru slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena (viz snímek z optického mikroskopu vpravo). Pro snížení teplotní časové konstanty τ je zúžena a prodloužena noha vedoucí k membráně bolometru. Byl také přidán výrobní krok pro vytvoření závěsů, které zabraňují podleptání bolometrů do stran.

Parametry bolometru:

Velikost membrány: ≈ 17.5x17.5 µm - 40x40 µm

Odpor bolometru: ≈ 8 - 17 kΩ

Teplotní součinitel elektrického odporu: ≈ 3.5·10-3·K-1

Projekty:

LO1401 (INWITE) , VI20152019043

 

Zpět...





Logo VUT