Logo LabSensNano
Skip Navigation Links
Intor LabSensNano

Depoziční zařízení


Popis

  • sestava následujících modulů připojených ke zdroji elektrické energie a k rozhraní PC: polohovací zařízení (3D pohybový systém), servomotor, termostat (-40 až +200 °C), membránové čerpadlo Stepdos, zdroj Agilent, převodník pro tlakové čidlo Labjack, který rovněž slouží jako snímač polohy Servomotoru (TG-Drives) a kamera
  • teflonová depoziční hlava s nerezovou (případně zlatou) elektrodou
  • software umožňující komplexní nastavení požadovaných procesů a jejich následné automatické spuštění bez zásahu obsluhy (depozice, promývání, leptání, atd.)

Využití

  • příprava nanoporézních masek či filmů a nanostrukturovaných povrchů s nanotrubičkami, nanodrátky či nanotečkami anodickou oxidací kovových vrstev
  • výroba nanostrukturovaných povrchů chemickou či galvanickou depozicí kovových iontů z roztoku elektrolytu
  • vhodné pro modifikaci povrchů elektrod a zvýšení povrchové plochy senzorů
  • vhodné pro výrobu senzorových polí (matice čidel)

Zpět...

Logo VUT