Popis

Pracoviště je vybaveno následujícími zařízeními:

• laminární box Telstar BV-100 - odtah 1100 m³/h, HEPA filtr H14, UV svícení
• spin coater SPIN 150 – stolní jednosubstrátový spin coater pro čištění, sušení a nanášení rezistu na substráty o velikosti až 6“, rychlost 1 - 10 000 rpm, paměť pro 50 programů s až 99 kroky pro každý program
• UV osvitová jednotka MEGA AZ 210 - s vakuem pro osvit fotocitlivých materiálů, pracovní plocha je 260 x 355 mm, výkon zářivek je 8 x 15W - 4-5 mW/cm²
• topná deska STUART SD 160 - digitální nastavení teploty na LCD displeji s mikroprocesorovou regulací teploty, topný výkon 700W, max. teplota 325°C, nastavení po 1°C

Využití

• přenos motivu z masky do fotocitlivého rezistu s vysokým rozlišením (až 30 um z fóliové předlohy, až 1 μm ze 5“ skleněné masky

Používané fotorezisty

Laminární box

Osvitová (vytvrzovací) jednotka